特許

J-GLOBAL ID：201103023205054646

単結晶引上げ装置のヒータ取付構造

発明者： 内藤 宣正 ,  前田 浩二 ,  竹村 正義
出願人/特許権者： 株式会社SUMCO
代理人 (1件)： 須田 正義
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-032192
公開番号（公開出願番号）：特開2000-233989
特許番号：特許第3709492号
出願日： 1999年02月10日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】チャンバ(13)内で半導体融液(14)を貯留するるつぼ(12)を囲むようにヒータ(16)が設けられ、前記ヒータ(16)に複数の脚部(31,33)が前記チャンバ(13)の底壁(13a)に向って突設され、前記脚部(31,33)の下端に着座部(41,43)が水平方向に延びて設けられ、中間電極(24)の上面から突設された中間電極用雄ねじ部(24b)が前記着座部(41,43)に挿通されてこの中間電極用雄ねじ部(24b)にナット(28)が螺合され、前記中間電極(24)の下端が下部電極(26)及び絶縁スリーブ(27)を介して前記チャンバ(13)の底壁(13a)に取付けられ、前記着座部(41,43)が前記中間電極(24)を介して前記下部電極(26)に電気的に接続された単結晶引上げ装置のヒータ取付構造において、前記中間電極(24)の上面が前記着座部(41,43)の下面のうち少なくとも前記脚部(31,33)の中心線(G)を含む部分を受けるように構成されたことを特徴とする単結晶引上げ装置のヒータ取付構造。

IPC (1件)：

C30B 15/14

FI (1件)：

C30B 15/14

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 単結晶引上装置におけるヒーター電極構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-257554   出願人：三菱マテリアルシリコン株式会社, 三菱マテリアル株式会社
• 特開昭52-026517
  
• 特開昭53-142386