特許

J-GLOBAL ID：201103023478613370

ランプユニット及び光照射式加熱装置

発明者： 鈴木 信二
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
代理人 (1件)： 田原 寅之助
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-207203
公開番号（公開出願番号）：特開2001-035803
特許番号：特許第3438658号
出願日： 1999年07月22日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 発光管が円環状であり、その円環の直径が異なる複数個のフィラメントランプが、その発光管が同一面内で同心円状に配置されてランプ群を構成し、このランプ群の複数個がその中心が一致した状態で段状に配置されたことを特徴とするランプユニット。

IPC (3件)：

H01L 21/26 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 501

FI (5件)：

H01L 21/205 ,  H01L 21/22 501 L ,  H01L 21/26 J ,  H01L 21/26 G ,  H01L 21/26 Q

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 半導体基板の枚葉式熱処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-193853   出願人：東横化学株式会社