偏向電磁石装置及び挿入光源装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-180320
公開番号（公開出願番号）：特開2011-034818
出願日： 2009年08月03日
公開日（公表日）： 2011年02月17日
要約：

【課題】小型化できる偏向電磁石装置及び挿入光源装置を提供する。【解決手段】挿入光源装置は、ビーム軌道に沿って第一の偏向電磁石装置、第二の偏向電磁石装置及び第三の偏向電磁石装置をこの順に配置している。第二の偏向電磁石装置14では、リターンポール7A,メインポール11A及びリターンポール7Bがこの順序でビーム進行方向の上流側から連結部材9Aに設置され、リターンポール7C,メインポール1B及びリターンポール7Dがこの順序でビーム進行方向の上流側から連結部材9Bに設置される。対向するリターンポール7Aとリターンポール7Cの間、対向するメインポール11Aとメインポール11Bの間、及び対向するリターンポール7Bとリターンポール7Dの間に、荷電粒子ビームが内部を通過するビームダクトが配置される。連結部材9Aと連結部材9Bが非磁性体の支持部材で連結される。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

磁性体の第1ヨークと、この第1ヨークの下方に配置されて非磁性体の支持部材で前記第1ヨークに連結された磁性体の第2ヨークとを備え、前記第1ヨークが、第1リターンポール、第1メインポール、第2リターンポールを含んでおり、前記第2ヨークが、第3リターンポール、第2メインポール、第4リターンポールを含んでおり、磁場を生成する第1コイルが前記第1メインポールに設けられ、磁場を生成する第2コイルが前記第2メインポールに設けられ、前記第1リターンポールと前記第3リターンポールが、前記第1メインポールと前記第2メインポールが、及び前記第2リターンポールと前記第4リターンポールが、それぞれ、荷電粒子ビームが通過する間隙を間に挟んで対向して配置されていることを特徴とする偏向電磁石装置。

IPC (4件)：

H05H 13/04 , H05H 7/04 , H01F 7/20 , H01F 6/00

FI (4件)：

H05H13/04 F , H05H7/04 , H01F7/20 Z , H01F7/22 A

Fターム (8件)：

2G085AA13 , 2G085BA14 , 2G085BC02 , 2G085BC04 , 2G085BC05 , 2G085BC06 , 2G085BE06 , 2G085DB08

引用特許：

出願人引用 (2件)

多連偏向電磁石装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-204286 出願人：三菱電機株式会社
超電導ウィグラー
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-330344 出願人：川崎重工業株式会社

審査官引用 (2件)

多連偏向電磁石装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-204286 出願人：三菱電機株式会社
超電導ウィグラー
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-330344 出願人：川崎重工業株式会社

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