特許

J-GLOBAL ID：201103023608230002

気化装置

発明者： 小野 弘文
出願人/特許権者： 株式会社リンテック
代理人 (1件)： 森 義明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-187734
公開番号（公開出願番号）：特開2001-011634
特許番号：特許第3650543号
出願日： 1999年07月01日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 成膜原料を担持した液体原料を気化部に供給する液体原料供給部と、供給された液体原料を加熱し、気化させると共にキャリヤガスに随伴させて反応室に供給する気化部とで構成された気化装置において、 気化部内に設けられた気化空間の内面が液体原料の入口から気化原料の出口に向かって液体原料が流下するように形成され、前記気化空間を構成する内面の内、少なくとも下側の内面が液体原料を滞留させる滞留面構造となっていると共に、 気化空間の頂部に液体原料の液溜りが形成されており、前記液溜りに向かって或いは液溜り内にキャリヤガスの噴出孔が配設されている事を特徴とする気化装置。

IPC (2件)：

C23C 16/448 ,  H01L 21/31

FI (2件)：

C23C 16/448 ,  H01L 21/31 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平2-048001
  
• 液体原料気化装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-148542   出願人：株式会社荏原製作所