特許
J-GLOBAL ID：201103024730506775
リソグラフィ装置及びデバイス製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-251367
公開番号（公開出願番号）：特開2011-109093
出願日： 2010年11月10日
公開日（公表日）： 2011年06月02日
要約：
【課題】代替のエンコーダタイプの位置測定システムを提供する。【解決手段】他のオブジェクトに対する可動オブジェクトの位置を測定する位置測定システムが、可動オブジェクト及び他のオブジェクトのうちの一方に取り付けられ、それぞれが測定方向に沿って測定ビームを放出することができる2つ以上の一次元(1D)エンコーダヘッドと、可動オブジェクト及び他のオブジェクトのうちの他方に取り付けられ、それぞれの基準ターゲットが2つ以上の一次元(1D)エンコーダヘッドと協働するグリッド又は回折格子を有する平面を含む1つ又は複数の基準ターゲットと、2つ以上の1Dエンコーダヘッドの出力に基づいてオブジェクトの位置を計算するプロセッサとを含み、2つ以上の1Dエンコーダヘッドそれぞれの測定方向は、それぞれの基準ターゲットの平面に対して非垂直である。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
他のオブジェクトに対する可動オブジェクトの位置を測定する位置測定システムであって、
前記可動オブジェクト及び前記他のオブジェクトのうちの一方に取り付けられ、それぞれが測定方向に沿って測定ビームを放出するように構成された2つ以上の一次元エンコーダヘッドと、
前記可動オブジェクト及び前記他のオブジェクトのうちの他方に取り付けられた基準ターゲットであって、前記2つ以上の一次元エンコーダヘッドと協働するグリッド又は回折格子を有する平面を備える基準ターゲットと、
前記2つ以上の一次元エンコーダヘッドの出力に基づいて前記可動オブジェクトの位置を計算するように構成されたプロセッサと、
を備え、
前記2つ以上の一次元エンコーダヘッドそれぞれの前記測定方向が、前記基準ターゲットの前記平面に対して非垂直である位置測定システム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 516B
, G01B11/00 G
2F065AA02
, 2F065AA03
, 2F065FF16
, 2F065FF48
, 2F065HH12
, 2F065JJ01
, 2F065JJ05
, 2F065LL02
, 2F065LL16
, 2F065LL17
, 2F065LL42
, 2F065LL46
, 5F046CC16
, 5F046CC20
, 5F046DB05
, 5F046DB08
, 5F046DC05
, 5F046DC12
