特許
J-GLOBAL ID：201103024969666910
ハロゲン含有排ガス処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
大岩 増雄
, 児玉 俊英
, 竹中 岑生
, 村上 啓吾
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-092109
公開番号（公開出願番号）：特開2002-282651
特許番号：特許第4558233号
出願日： 2001年03月28日
公開日（公表日）： 2002年10月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ハロゲン含有ガスを排気するハロゲン含有ガス排気設備に接続可能な排ガス導入部と、当該排ガス導入部に導入されたハロゲン含有排ガスをハロゲン化合物の分解処理を行う放電部へ供給するガス供給経路と、当該ガス供給経路に接続され、前記ガス供給経路に、真空ポンプを保護するための希ガスを、ハロゲン含有排ガスを希釈するキャリアガスとして導入するキャリアガス供給手段並びに水素供与物質を導入する水素供給手段と、前記ガス供給経路に接続され、前記ガス供給経路に導入された前記ハロゲン含有排ガス中のハロゲン化水素を除去するハロゲン化水素前処理部とを備えてなるハロゲン含有排ガス処理装置。
IPC (6件)：
B01D 53/70 ( 200 6.01)
, B01D 53/68 ( 200 6.01)
, B01J 19/08 ( 200 6.01)
, C07B 35/06 ( 200 6.01)
, C07B 37/06 ( 200 6.01)
, C07C 19/08 ( 200 6.01)
B01D 53/34 134 E
, B01D 53/34 134 C
, B01J 19/08 ZAB C
, C07B 35/06
, C07B 37/06
, C07C 19/08
