炭化ケイ素粉末の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：細田芳徳
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-086548
公開番号（公開出願番号）：特開2000-281447
特許番号：特許第4237328号
出願日： 1999年03月29日
公開日（公表日）： 2000年10月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】炭化ケイ素を不活性雰囲気下、1200〜1900°Cで熱処理し、次いで酸素を含有する雰囲気下で酸化し、粉砕する炭化ケイ素粉末の製造方法。

IPC (2件)：