特許
J-GLOBAL ID：201103025355706920
ガス分析装置、及び当該ガス分析装置を用いたガスセルの圧力又は流量の制御方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
坂野 博行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-149167
公開番号（公開出願番号）：特開2011-007534
出願日： 2009年06月23日
公開日（公表日）： 2011年01月13日
要約：
【課題】ガスセル内の圧力を制御しながら、流量をも制御可能なガス分析装置を供給する。【解決手段】測定対象ガス1を流すガスセル5と、前記測定対象ガスへ赤外線を照射するための赤外線光源と、前記ガスセル内を透過した光の強度を検出する強度検出手段と、前記ガスセル内の圧力を検出する圧力検出手段4と、前記ガスセルの上流に配設された第一のポンプ3と、前記ガスセルの下流に配設された第二のポンプ9と、前記ガスセルの上流に配設された第一のバルブ2と、前記ガスセルの下流に配設された第二のバルブ8と、前記第二のバルブの気体吸入口と前記第二のポンプの下流とを接続するガスライン7と、からなるガス分析装置であって、前記圧力検出手段により検出された圧力に基づき、ガスセル内の圧力を制御する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
測定対象ガスを流すガスセルと、前記測定対象ガスへ赤外線を照射するための赤外線光源と、前記ガスセル内を透過した光の強度を検出する強度検出手段と、前記ガスセル内の圧力を検出する圧力検出手段と、前記ガスセルの上流に配設された第一のポンプと、前記ガスセルの下流に配設された第二のポンプと、前記ガスセルの上流に配設された第一のバルブと、前記ガスセルの下流に配設された第二のバルブと、前記第二のバルブの気体吸入口と前記第二のポンプの下流とを接続するガスラインと、からなるガス分析装置であって、前記圧力検出手段により検出された圧力に基づき、ガスセル内の圧力を制御することを特徴とするガス分析装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N21/35 Z
, G01N1/00 101T
2G052AD02
, 2G052AD22
, 2G052AD42
, 2G052GA11
, 2G052GA27
, 2G052HA15
, 2G052HA18
, 2G059AA01
, 2G059BB01
, 2G059CC04
, 2G059CC05
, 2G059CC06
, 2G059CC13
, 2G059CC15
, 2G059DD12
, 2G059EE01
, 2G059EE12
, 2G059FF04
, 2G059HH01
, 2G059MM01
, 2G059NN04
