薄膜除去装置及び薄膜除去方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：金本哲男 , 亀谷美明 , 萩原康司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-295112
公開番号（公開出願番号）：特開2000-200748
特許番号：特許第3590308号
出願日： 1999年10月18日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】薄膜が形成された基板の周縁部の不要な膜に対して,当該周縁部の少なくとも一部を覆う溶剤吐出部材から溶剤を吐出させて前記不要な膜を除去する装置であって,前記溶剤吐出部材には,溶剤供給源から供給される溶剤を溜める溶剤溜部が設けられ,さらに前記溶剤溜部における基板に面した面には,前記溶剤溜部に通ずる吐出孔が形成され,前記溶剤吐出部材は,基板の周縁に沿って移動する移動機構に設けられ,前記吐出孔は複数形成されており,これら複数の吐出孔は,移動機構による移動方向前方から後方に向かって所定の間隔で設けられ,さらに前記複数の吐出孔は移動方向前方から後方に向かって所定の間隔でかつ次第に基板の縁部に近づくように設けられていることを特徴とする,薄膜除去装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , B05C 9/12 , B05C 11/10 , B05D 3/12

FI (4件)：

H01L 21/30 577 , B05C 9/12 , B05C 11/10 , B05D 3/12 Z

引用特許：

審査官引用 (1件)

基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-282909 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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