特許
J-GLOBAL ID：201103025768447060
光アクチュエ-タ素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
220000301 工業技術院機械技術研究所長
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-075349
公開番号（公開出願番号）：特開2000-267022
特許番号：特許第3106187号
出願日： 1999年03月19日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ニオブ酸リチウム、ニオブ酸タンタル、及びチタン酸バリウムのいずれかの単結晶によって素子を構成したことを特徴とする光アクチュエータ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 26/08 J
, H01L 41/18 101 Z
