シリコン単結晶引上げ用黒鉛ルツボ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：波多野久 , 関口俊三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-008310
公開番号（公開出願番号）：特開2000-203984
特許番号：特許第3734004号
出願日： 1999年01月14日
公開日（公表日）： 2000年07月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】炭素繊維強化炭素複合材を用いたシリコン単結晶引上げ用黒鉛ルツボにおいて、黒鉛ルツボを軸方向に複数の直胴部位に区画可能な直胴部とルツボ底部とから一体に構成し、このルツボ底部、前記直胴上部および前記直胴下部は炭素繊維が実質的に垂直方向に配列された炭素繊維強化炭素複合材で形成され、黒鉛ルツボの直胴主部は炭素繊維が実質的に水平方向に放射状に配列された炭素繊維強化炭素複合材を用いて黒鉛ルツボの各部位の入熱と放熱の制御を行うことを特徴としたシリコン単結晶引上げ用黒鉛ルツボ。

IPC (2件)：