特許
J-GLOBAL ID：201103026877611038

スピンコータ

発明者：
宇都宮 幸雄

宇都宮 幸雄 について


出願人/特許権者：
オリジン電気株式会社

オリジン電気株式会社 について


公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-227047
公開番号（公開出願番号）：特開2001-046942
特許番号：特許第3594517号
出願日： 1999年08月11日
公開日（公表日）： 2001年02月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】垂直に支持されて高速回転するスピンドルと、このスピンドルの中央に軸方向に配設されて上面にのみ貫通して上面開口部を有するエア供給穴と、このエア供給穴の底部付近に接続されてこのスピンドルの外周面に貫通して外周面開口部を有する横穴と、この外周面開口部に回転接触するエア供給環とそのエア供給環に接続するエア供給口とを備えた筒基台であって、このスピンドルをラビリンスシールにより気密に軸支する筒基台と、前記エア供給穴の上面開口部に接続されるとともに前記エア供給口に付与された空気圧により上下動するシャフトを有するシリンダーと、このシリンダーのシャフトに接続するアクチュエータと、このアクチュエータにしたがって開閉する被塗物を装着する3個又はそれ以上の階段爪と、を備えて、前記エア供給口から圧縮空気圧を印加または印加停止させることにより前記階段爪の把持力を装着、離脱、制御を行うことを特徴とするスピンコータ。
IPC (2件)：
B05C 11/08 ,  G02B 1/11
FI (2件)：
B05C 11/08 ,  G02B 1/10 A
引用特許：
審査官引用 (2件)

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