特許
J-GLOBAL ID：201103026905495952
第1及び第2の物体の位置合せ方法及び装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外3名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-246553
公開番号（公開出願番号）：特開平2-119117
特許番号：特許第2874909号
出願日： 1989年09月25日
公開日（公表日）： 1990年05月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】第1及び第2の物体が互いに対向して配置され、これらの第1及び第2の物体の間に、投影レンズが介装され、第1及び第2の物体に各々第1及び第2のマークが形成され、各マークは、互いに所定間隔離間して配置された2つの回折点を有している、第1及び第2の物体の位置合せ方法であって、光源から発射されたアライメント光を第1のマークの2つの回折点に照射して回折させ、その結果、第1のマークの2つの回折点から、各々、2つの所定次数の回折光を現出させる工程と、これらの2つの所定次数の回折光を、各々、投影レンズを介して第2のマークの2つの回折点に移行して回折させ、その結果、第2のマークの2つの回折点から、各々、2つの所定次数の再回折光を現出させる工程と、これらの2つの所定次数の再回折光を互いに干渉させて干渉光とする工程と、この干渉光を検出し、その結果、第1及び第2の物体の位置ずれ情報を有する検出信号を発する工程と、この検出信号に基づいて第1及び第2の物体の相対位置を調整して、第1及び第2の物体を位置合せする工程と、を具備する第1及び第2の物体の位置合せ方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/00 G
, H01L 21/30 525 S
