特許

J-GLOBAL ID：201103027432795100

基板処理装置、基板処理装置のシミュレート装置、及び基板処理装置のシミュレートプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体

発明者： 宮城 智彦 ,  伊藤 健一
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (3件)： 吉田 茂明 ,  吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-081706
公開番号（公開出願番号）：特開2000-277401
特許番号：特許第3934275号
出願日： 1999年03月25日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 複数の処理部と、それぞれが1または複数の基板からなる複数の基板群を前記複数の処理部に順次に搬送する搬送手段とを機能手段として備え、前記複数の基板群についてそれぞれあらかじめ規定されたレシピに応じた処理を順次に行う基板処理装置であって、 (a) 基板群ごとのレシピに応じた処理スケジュールを、当該基板群による各機能手段の占有時間帯の連鎖として算出する処理スケジュール算出手段と、 (b) 前記占有時間帯を前記複数の基板群の処理スケジュール相互間で比較し、いずれかの占有時間帯に重複がある場合には、前記処理スケジュールを修正することにより、前記重複を回避した修正済スケジュールを得る比較修正手段と、 (c) 前記修正済スケジュールに基づいて前記機能手段を制御する制御手段と、 をさらに備え、 前記比較修正手段は、 (b-1) 基板群ごとに得られる複数の処理スケジュールを比較対象とし、時刻の進行順序に従って前記占有時間帯を相互に比較する順次比較手段と、 (b-2) 前記占有時間帯の重複が発見される都度、その重複時間幅に応じて、前記複数の処理スケジュールのうちのいずれかを時間的にシフトさせるシフト手段と、 (b-3) 前記シフト後の処理スケジュールを新たな比較対象として、前記重複のすべてが解消するまで前記順次比較手段と前記シフト手段とを繰返し能動化させる繰返し手段と、 を備え、 前記重複がすべて解消した状態で得られている処理スケジュールを前記修正済スケジュールとして得ることを特徴とする基板処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/02 ( 200 6.01) ,  H01L 21/677 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/02 Z ,  H01L 21/68 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-199933   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-277836   出願人：大日本スクリーン製造株式会社