特許

J-GLOBAL ID：201103027461618978

積層コンデンサ形成母材の製造装置とその製造方法およびその製造装置における測定データ出力装置と測定データ出力方法

発明者： 小西 良一 ,  北井 崇博
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 森本 義弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-219369
公開番号（公開出願番号）：特開2001-044083
特許番号：特許第3418573号
出願日： 1999年08月03日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 回転ドラムの表面に、蒸着により金属膜と誘電体膜とを交互に積層成膜して、積層コンデンサを形成するための形成母材を製造する積層コンデンサ形成母材の製造装置において、前記回転ドラム表面の互いに異なる角度箇所に対向して配設されて回転ドラムの表面状態を計測する複数の計測部と、回転ドラムにおける所定の部位が所定の基準位置にある際の姿勢に対する移動角度を検出する角度検出部と、各計測部で計測した計測データを記憶する記憶部と、記憶部に記憶された計測データを出力する出力部と、各計測部で計測した計測データを、各計測部の取付位置の前記基準位置に対するずれ角度量を補正した上で記憶部に蓄積させて出力部により出力させる制御部とを備えた積層コンデンサ形成母材の製造装置。

IPC (3件)：

H01G 13/00 391 ,  C23C 14/54 ,  H01G 4/30 311

FI (3件)：

H01G 13/00 391 C ,  C23C 14/54 C ,  H01G 4/30 311 F

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 積層体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-317416   出願人：松下電器産業株式会社