積層体の製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：池内寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-317416
公開番号（公開出願番号）：特開平11-147282
出願日： 1997年11月18日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：

【要約】【課題】樹脂層と特定領域にのみ積層した金属薄膜層とからなる積層単位を多数積層してなる積層体を安定して製造する方法を提供することにより、かかる積層体に対する小型化・高性能化・低コスト化の要求を達成する。【解決手段】樹脂材料を付着させて樹脂層を積層する工程12と、前記樹脂層上にパターニング材料を付着させる工程13と、金属薄膜層を積層する工程14とを一単位とし、これを周回する支持体11上で所定回数繰り返すことにより、樹脂層と金属薄膜層とからなる積層体を製造する方法であって、パターニング材料を樹脂層表面に非接触で付着させる。

請求項（抜粋）：

樹脂材料を付着させて樹脂層を積層する工程と、前記樹脂層上にパターニング材料を付着させる工程と、金属薄膜層を積層する工程とを一単位とし、これを周回する支持体上で所定回数繰り返すことにより、樹脂層と金属薄膜層とからなる積層体を製造する方法であって、パターニング材料を樹脂層表面に非接触で付着させることを特徴とする積層体の製造方法。

IPC (3件)：

B32B 15/08 , B32B 15/20 , H01G 4/30 311

FI (3件)：

B32B 15/08 K , B32B 15/20 , H01G 4/30 311 D

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開平2-043042
特公昭60-050053
特公昭55-047113

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審査官引用 (16件)

特開平2-043042
特開平2-043042
缶供給装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-171149 出願人：三菱マテリアル株式会社

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