複合粒子を含有する研磨剤及び研磨剤用複合粒子の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島清路
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-009906
公開番号（公開出願番号）：特開2000-204355
特許番号：特許第4038912号
出願日： 1999年01月18日
公開日（公表日）： 2000年07月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】重合体粒子と、メタロキサン結合含有部(該メタロキサン結合含有部を構成する金属としてチタンは除く。)と、を有する複合粒子を含有する研磨剤であって、上記重合体粒子と、上記メタロキサン結合含有部とは、シランカップリング剤によって連結されていることを特徴とする研磨剤。

IPC (3件)：