特許
J-GLOBAL ID：201103028021747616
プローブの研磨機構及びプローブ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小原 肇
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-209472
公開番号（公開出願番号）：特開2001-033524
特許番号：特許第4123400号
出願日： 1999年07月23日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被検査体の載置台に隣接し、この載置台の上方に固定されたプローブカードのプローブを研磨する研磨機構において、上記プローブを研磨する昇降可能な研磨体と、この研磨体を昇降させる昇降駆動機構と、この昇降駆動機構を介して昇降する上記研磨体を下降端で支承し且つ上記載置台の近傍に固定された支持体と、この支持体を支承する水平移動可能な支持板と、この支持板を水平方向に直進させる直進駆動機構とを備え、上記研磨体にはその下面から垂下して上記支持体から下方へ突出するシャフトを設けると共に上記支持板には上記シャフトが嵌入する嵌入孔を設け、上記プローブの研磨時には上記昇降駆動機構を介して上記研磨体を押し上げて上記シャフトの突出下端を上記嵌入孔から抜き出した後、上記直進駆動機構を介して上記支持板を直進させて上記支持板の嵌入孔以外の部分で上記シャフトを支承することを特徴とするプローブの研磨機構。
IPC (4件)：
G01R 31/28 ( 200 6.01)
, B24B 47/26 ( 200 6.01)
, G01R 1/06 ( 200 6.01)
, H01L 21/66 ( 200 6.01)
G01R 31/28 K
, B24B 47/26
, G01R 1/06 E
, H01L 21/66 B
