エッチング深さの検出方法並びにエッチングモニター装置及びエッチング装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小原肇
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-019524
公開番号（公開出願番号）：特開2001-210625
特許番号：特許第4444428号
出願日： 2000年01月28日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被処理体に光を照射し、その反射光を用いてエッチング深さを検出する方法において、上記被処理体に波長を異にする複数の光を照射する工程と、被エッチング層の上面及び被エッチング部の表面からの反射光により周期変動する波長を異にする複数の干渉光を検出する工程と、上記複数の干渉光の周波数解析を行うことによりそれぞれの干渉波形の周波数を求める周波数解析工程と、上記複数の干渉波形それぞれの周波数を用いてエッチング速度を算出するエッチング速度算出工程と、上記複数の干渉波形それぞれの周波数を用いて算出されたエッチング速度を互いに補完して平均エッチング速度を算出するエッチング速度補完工程と、上記平均エッチング速度から上記エッチング深さを求める工程と、を備え、上記エッチング速度算出工程では、上記各干渉波形の周波数に基づいて上記エッチング速度を算出してそれぞれの算出エッチング速度を求め、上記エッチング速度補完工程では、上記各干渉波形の歪みの大きさに応じてそれぞれの上記算出エッチング速度を加重平均して、いずれかの上記干渉波形の歪みに基づく上記算出エッチング速度のずれを他の歪みのない干渉波形に基づく上記算出エッチング速度で補完して上記平均エッチング速度を求めることを特徴とするエッチング深さの検出方法。

IPC (3件)：

H01L 21/3065 ( 200 6.01) , C23F 4/00 ( 200 6.01) , H01L 21/66 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01L 21/302 103 , C23F 4/00 A , H01L 21/66 P

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平2-071517
特開平2-308531
エッチング深さ測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-222543 出願人：株式会社東芝

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審査官引用 (7件)

特開平2-071517
特開平2-308531
エッチング深さ測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-222543 出願人：株式会社東芝

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