特許
J-GLOBAL ID:201103028061009804

光ビームの複数スペクトル帯域を同時に検知する装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 加藤 朝道 ,  内田 潔人 ,  石田 康昌
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-529627
特許番号:特許第4070405号
出願日: 1999年01月28日
請求項(抜粋):
【請求項1】 光ビーム(1)の複数スペクトル帯域を同時に検知する装置又は共焦点顕微鏡の検知ビーム路においてレーザスキャナ(2)の光ビーム(1)を検知する装置において、 光ビーム(1)をスペクトル的に展開分散するための装置(3)と、当該展開分散された光ビームを分散面(6)からスペクトル帯域(7,8,9)に分割し、次いで当該分割された複数のスペクトル帯域(7,8,9)を検知するための装置(4)、すなわち分割/検知装置(4)とが設けられており、 該分割/検知装置(4)は、展開分散されたビーム(5)のビーム路に配置され、スリット絞り(20)を形成する反射面を有し、 該反射面は展開分散されたビーム(5)をスリット形成と反射によって分散面(6)から複数の部分ビーム(7,8,9)に分解する、 ことを特徴とする装置。
IPC (2件):
G01J 3/36 ( 200 6.01) ,  G02B 21/00 ( 200 6.01)
FI (2件):
G01J 3/36 ,  G02B 21/00
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開平4-363633
  • フェリプリズムを具備する同心型のスペクトル装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-287254   出願人:アエロスパティアル・ソシエテ・ナシォナル・アンドゥストリエル・セントレ・オペラシォネル・サタリット, カール・ツアイス・スティフツング
  • 分光装置およびその操作方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-216393   出願人:レニショウトランスデューサシステムズリミテッド
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