特許

J-GLOBAL ID：201103028101484055

ボロメータ型THz波検出器

発明者： 小田 直樹
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 宮本 恵司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-258923
公開番号（公開出願番号）：特開2011-106825
出願日： 2009年11月12日
公開日（公表日）： 2011年06月02日
要約：

【課題】高感度ボロメータ型THz波検出器の提供。【解決手段】基板に形成された読出回路に接続される電極配線を含む支持部により、前記電極配線に接続されるボロメータ薄膜を含む温度検出部が、前記基板から浮いた状態で支持される熱分離構造を有するボロメータ型THz波検出器であって、前記基板上の前記温度検出部に対向する位置にTHz波を反射する反射膜が形成され、前記温度検出部上に前記THz波を吸収する吸収膜が形成され、前記反射膜と前記温度検出部とで光学的共振構造が形成され、前記反射膜と前記温度検出部との間隔が8〜14μmに設定され、且つ、前記吸収膜のシート抵抗が100〜200Ω/squareに設定される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板に形成された読出回路に接続される電極配線を含む支持部により、前記電極配線に接続されるボロメータ薄膜を含む温度検出部が、前記基板から浮いた状態で支持される熱分離構造を有するボロメータ型THz波検出器であって、 前記基板上の前記温度検出部に対向する位置にTHz波を反射する反射膜が形成され、前記温度検出部上に前記THz波を吸収する吸収膜が形成され、前記反射膜と前記温度検出部とで光学的共振構造が形成され、 前記反射膜と前記温度検出部との間隔が8〜14μmに設定され、且つ、前記吸収膜のシート抵抗が100〜200Ω/squareに設定されることを特徴とするボロメータ型THz波検出器。

IPC (1件)：

G01J 1/02

FI (1件)：

G01J1/02 C

Fターム (6件)：

2G065AA04 ,  2G065AB02 ,  2G065BA12 ,  2G065BB11 ,  2G065BB24 ,  2G065DA20

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ボロメータ型THz波検出器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-081827   出願人：日本電気株式会社, 国立大学法人東京大学, 独立行政法人情報通信研究機構
• ボロメータ検出器及びこれをもちいてサブミリ波及びミリ波電磁波を検出する装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-095481   出願人：コミツサリアタレネルジーアトミーク