特許
J-GLOBAL ID：200903074711443940
ボロメータ型THz波検出器
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
宮本 恵司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-081827
公開番号（公開出願番号）：特開2008-241438
出願日： 2007年03月27日
公開日（公表日）： 2008年10月09日
要約：
【課題】高性能かつ高歩留まりで製造可能なボロメータ型THz波検出器の提供。【解決手段】ボロメータ薄膜7を含む温度検出部14(ダイアフラム)が支持部13によって回路基板2から浮いた状態で支持されるマイクロブリッジ構造において、回路基板2上にTHz波を反射する反射膜3を形成し、温度検出部14上にTHz波を吸収する吸収膜11を形成し、反射膜3と温度検出部14とで光学的共振構造を形成すると共に、反射膜3と温度検出部14との間隔は赤外線の波長を基準にして赤外線の波長の略1/4(例えば、略1.5乃至2.5の範囲)に設定し、温度検出部14のシート抵抗はTHz波を基準にしてTHz波の吸収率が所定値以上となる範囲(略10乃至100Ω/sq.の範囲)に設定する。これにより、ボロメータ型赤外線検出器の構造及び製造技術を利用しつつTHz波の吸収率を大幅に改善する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板に形成された読出回路に接続される電極配線を含む支持部により、前記電極配線に接続されるボロメータ薄膜を含む温度検出部が、前記基板から浮いた状態で支持されるマイクロブリッジ構造を有するボロメータ型THz波検出器であって、
前記基板上の前記温度検出部に対向する位置にTHz波を反射する反射膜が形成され、前記温度検出部上に前記THz波を吸収する吸収膜が形成され、前記反射膜と前記温度検出部とで光学的共振構造が形成され、
前記反射膜と前記温度検出部との間隔は赤外線の波長を基準にして設定され、かつ、前記温度検出部のシート抵抗は前記THz波を基準にして設定されることを特徴とするボロメータ型THz波検出器。
IPC (3件)：
G01J 1/02
, G01N 21/35
, G01J 5/20
G01J1/02 C
, G01N21/35 Z
, G01J5/20 B
2G059HH06
, 2G065AA04
, 2G065AB03
, 2G065BA12
, 2G066BA09
出願人引用 (1件)
審査官引用 (11件)
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