特許
J-GLOBAL ID：201103028166537822
3点法による形状測定方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊丹 勝
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-227901
公開番号（公開出願番号）：特開2001-050739
特許番号：特許第4242519号
出願日： 1999年08月11日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】回転するワークの周囲にその回転方向に所定角度をもってそれぞれ配置されて、それぞれが前記ワークの回転に伴う前記ワーク表面の半径方向への変位を検出して検出信号を出力する第1、第2及び第3の検出器と、
これら第1〜第3の検出器の検出信号からそれぞれ前記ワークの形状データを含む空間周波数成分を抽出する第1、第2及び第3のフィルタ手段と、
前記第1のフィルタ手段の出力と前記第2のフィルタ手段の出力とをサンプリング方向に相対的にシフトさせながら両者の誤差が最も小さくなる第1のシフト量を求めると共に、前記第1のフィルタ手段の出力と前記第3のフィルタ手段の出力とをサンプリング方向に相対的にシフトさせながら両者の誤差が最も小さくなる第2のシフト量を求め、前記第1のシフト量から前記第1及び第2の検出器間の第1の相対角度を求め、前記第2のシフト量から前記第1及び第3の検出器間の第2の相対角度を求める相対角算出手段と、
前記第1〜第3の検出器の検出信号と相対角算出手段で算出された第1及び第2の相対角度とに基づいて3点法により前記ワークの形状を算出する3点法演算手段と
を備えたことを特徴とする3点法による形状測定装置。
IPC (2件)：
G01B 21/20 ( 200 6.01)
, G01B 21/30 ( 200 6.01)
G01B 21/20 C
, G01B 21/30 101 Z
