特許
J-GLOBAL ID：201103028417238730
光学フィルタ、該フィルタを有する固体撮像素子及び撮像装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
阿部 琢磨
, 黒岩 創吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-155666
公開番号（公開出願番号）：特開2011-013330
出願日： 2009年06月30日
公開日（公表日）： 2011年01月20日
要約：
【課題】 偏光依存性を抑えると共に、可視域の青の波長を透過するGR(Guided Resonance)モードのシリコンを用いた光学フィルタを提供すること。【解決手段】 基板と、シリコンで構成された部材の複数を前記基板の表面上に周期的に配してなる周期構造と、を備え、前記周期構造に入射する光の内、第1の波長の光を前記基板方向に選択的に透過させる光学フィルタであって、前記部材は、周期を400nm以上500nm以下の範囲内として二次元的に配されていると共に、前記部材の前記表面に平行な方向の大きさを120nm以上160nm以下の範囲内として、第1の波長の透過スペクトルの極大値を400nm以上500nm以下の範囲内に発現させた光学フィルタ。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板と、シリコンで構成された部材の複数を前記基板の表面上に周期的に配してなる周期構造と、を備え、前記周期構造に入射する光の内、第1の波長の光を前記基板方向に選択的に透過させる光学フィルタであって、
前記部材は、周期を400nm以上500nm以下の範囲内として二次元的に配されていると共に、前記部材の前記表面に平行な方向の大きさを120nm以上160nm以下の範囲内として、第1の波長の透過スペクトルの極大値を400nm以上500nm以下の範囲内に発現させたことを特徴とする光学フィルタ。
IPC (4件)：
G02B 5/20
, G02B 5/18
, H01L 27/14
, H04N 9/07
G02B5/20 101
, G02B5/18
, H01L27/14 D
, H04N9/07 D
2H048BA01
, 2H048BA04
, 2H048BA45
, 2H048BB02
, 2H048BB07
, 2H048BB46
, 2H249AA03
, 2H249AA07
, 2H249AA13
, 2H249AA37
, 2H249AA41
, 2H249AA45
, 2H249AA60
, 2H249AA62
, 4M118BA10
, 4M118BA14
, 4M118GC07
, 4M118GC08
, 4M118GC14
, 5C065EE05
, 5C065EE06
