特許
J-GLOBAL ID：201103028508971635
プローブカード
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲垣 清
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-066161
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258460
特許番号：特許第3282723号
出願日： 1999年03月12日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 半導体集積回路の電極パッドに接触する複数のプローブ針を備えたプローブカードにおいて、表裏を貫通する貫通穴を有するプローブ基板と、前記複数のプローブ針を内面に対して略直交方向に支持する略半球形状のプローブ支持部材と、前記プローブ支持部材の内面から突出する前記複数のプローブ針を前記半導体集積回路に向かって摺動自在に支持する案内部材とを備え、前記案内部材が、前記プローブ基板とプローブ支持部材との間に配置され該プローブ支持部材より小さな略半球形状の第1案内部材と、前記貫通穴に嵌合される略円板状の第2案内部材とから成ることを特徴とするプローブカード。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/073 E
, H01L 21/66 B
