特許

J-GLOBAL ID：201103028723893645

気体原子または気体分子の飛行時間型速度測定装置

発明者： 石岡 邦江 ,  北島 正弘 ,  久保 敦 ,  石井 康博 ,  矢田 雅規
出願人/特許権者： 独立行政法人物質・材料研究機構
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-360782
公開番号（公開出願番号）：特開2002-162386
特許番号：特許第3440300号
出願日： 2000年11月28日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 気体原子または気体分子をパルスレーザー照射によりイオン化するイオン化部と、イオン化部で生成されたイオンを導入し速度分離を行うためのドリフトチューブと、ドリフトチューブを通過したイオンを加速すると同時に空間的に収束させるための二段加速収束部と、この二段加速収束部から放出されたイオンを検出するイオン検出器とを備える飛行時間型速度測定装置であって、前記二段加速収束部が、ドリフトチューブ側に設置された第一のグリッドとイオン検出部側に設置された第二のグリッドとからなり、第一のグリッドとドリフトチューブのイオン放出口との距離dと引き込み部を有する場合にはこれを含むドリフトチューブ長Lとが、L/dが10〜50の範囲となるように設定されていることを特徴とする飛行時間型速度測定装置。

IPC (3件)：

G01N 27/62 ,  G01N 27/64 ,  H01J 49/40

FI (3件)：

G01N 27/62 Z ,  G01N 27/64 B ,  H01J 49/40