カソードの製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-313075
公開番号（公開出願番号）：特開2002-124182
特許番号：特許第4480873号
出願日： 2000年10月13日
公開日（公表日）： 2002年04月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 (a)カソード表面に、イリジウム、ルテニウムおよびオスミウムからなる群れの少なくとも1種の金属を含むアルコキシド溶液を塗布し、(b)前記アルコキシド溶液を加水分解、重縮合することによりゲル膜とし、(c)該ゲル膜を乾燥、固化し、真空熱処理にて前記ゲル膜を熱分解することにより、前記金属の薄膜を前記カソード表面に形成するカソードの製造方法において、前記アルコキシド溶液の濃度を調整することにより、前記金属の薄膜の厚さを制御することを特徴とするカソードの製造方法。

IPC (1件)：