表面が砂目加工された石英物品の洗浄方法

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：高橋昌久 , 花田久丸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-272764
公開番号（公開出願番号）：特開2001-151537
特許番号：特許第4294176号
出願日： 1999年09月27日
公開日（公表日）： 2001年06月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】表面が砂目加工された石英物品の洗浄方法において、クリーン度1000以下の雰囲気中で、前記石英物品を、第1工程:3〜10%HF溶液にてのブラシ洗浄工程、第2工程:純水によるすすぎ洗浄工程、第3工程:3〜10%硝酸にてのブラシ洗浄工程、第4工程:純水によるすすぎ洗浄工程、第5工程:超純水中にての超音波洗浄工程、第6工程:有機溶剤中にてのブラシ洗浄工程、第7工程:超純水中にてのブラシ洗浄工程、第8工程:超純水中にての超音波洗浄工程、の後に乾燥する工程を有し、前記有機溶剤中にてのブラシ洗浄工程が、親油性及び親水性の有機溶剤を混合した有機溶剤を用いるか、若しくは親油性有機溶剤洗浄工程と親水性有機溶剤洗浄工程とを分けて親油性及び親水性の有機不純物を除去するブラシ洗浄工程であることを特徴とする表面が砂目加工された石英物品の洗浄方法。

IPC (5件)：

C03C 23/00 ( 200 6.01) , C03B 20/00 ( 200 6.01) , H01L 21/205 ( 200 6.01) , H01L 21/3065 ( 200 6.01) , H01L 21/304 ( 200 6.01)

FI (5件)：

C03C 23/00 A , C03B 20/00 K , H01L 21/205 , H01L 21/302 101 H , H01L 21/304 644 Z

引用特許：

出願人引用 (1件)

石英ボ-トおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-028418 出願人：三菱マテリアルシリコン株式会社, 三菱マテリアル株式会社

審査官引用 (1件)

石英ボ-トおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-028418 出願人：三菱マテリアルシリコン株式会社, 三菱マテリアル株式会社

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