特許

J-GLOBAL ID：201103028900017729

多軸駆動のためのシングルステージマイクロアクチュエータ

発明者： ▲鄭▼ 喜 文 ,  田 鍾 業 ,  崔 在 濬
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (1件)： 磯野 道造
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-203581
公開番号（公開出願番号）：特開2002-140844
特許番号：特許第3840071号
出願日： 2001年07月04日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】四角形の基板(11)と、 前記基板(11)の中央部に設けられた四角形の固定電極板(14)と、 前記基板(11)の上面に平行で、かつ、基板(11)における2本の対角線が交わる点を原点としたX-Y平面において、四角形の横軸をX軸、縦軸をY軸とした場合、前記基板(11)上のX軸と、Y軸と、前記対角線とにより区分される8つの領域を反時計回りに、第1領域、第2領域、第3領域、第4領域、第5領域、第6領域、第7領域、第8領域としたとき、 前記基板(11)の第1,8領域に配置され、前記固定電極板(14)の回りにスペースが設けられ、そのスペースの外側に配置され、前記固定電極板(14)の輪郭に沿って配列された複数列の固定サブフレーム(22)、及び、前記複数列の固定サブフレーム(22)を連結する複数の固定メインフレーム(21,24)とを備えた固定フレームがこの第1,8領域と同様に、第2,3領域と、第4,5領域と、第6,7領域とにも配置され、これらの固定フレームの集合体を構成する固定フレーム部と、 前記基板(11)の第1領域に配置され、前記固定電極板(14)の回りに設けられた前記スペースに配設され、支持台(12)を有するくし状の方向変形スプリング部(30′)、及び、前記基板(11)上の外側に配列された支持台(12)を有するくし状の方向変形スプリング部(30)とを備え、これが前記同様に、第2領域と、第3領域と、第4領域と、第5領域と、第6領域と、第7領域と、第8領域とにも配置されたくし状の方向変形スプリング部(30,30′)と、 前記支持台(12)により前記固定電極板(14)の上方に配置され、第1,8領域にあって、前記くし状の方向変形スプリング部(30′)が支持する第2駆動メインフレーム33の延長部33′を介して第1駆動メインフレーム36をくし状の幹とし、第1駆動メインフレーム36から伸びたくし状の方向変形スプリング(37a)と、前記第1,8領域と同様に、第2,3領域のくし状の方向変形スプリング(37b)と、第4,5領域のくし状の方向変形スプリング(37c)と、第6,7領域のくし状の方向変形スプリング(37d)とによって、各々の側部が支持された四角形のステージ(41)と、 前記支持台(12)により支持され、第1,8領域では、前記固定フレームを覆うようにして組み合わさり、前記複数の固定サブフレーム(22)に平行に所定間隔に配列される複数の第1駆動メインフレーム(36)と、前記固定サブフレーム(22)と固定メインフレーム(24)の間に前記ステージ(41)の外側に配列される第2駆動メインフレーム(33)、及び、外側に同様に配列される前記固定サブフレーム(22)に平行に配列される複数の駆動サブフレーム(34)とが備えられ、これらの駆動フレームは、この第1,8領域と同様に、第2,3領域と、第4,5領域と、第6,7領域とにも配置されて構成され、これらの駆動フレームの集合体を構成する駆動フレーム部と、 前記各駆動サブフレーム(34)には、複数のくし状の駆動電極(35)が配列され、前記固定サブフレーム(22)には、複数のくし状の固定電極(23)が形成され、お互いのくし状の電極が交互に噛合うように対向して配置され、 前記基板(11)のコーナーのエッジ部には、固定電極板パッド(16)が備えられ、 前記固定電極板パッド(16)を固定電極板(14)と連結するために、前記基板(11)の対角線方向には、外方に延びる線状の電極(15)が備えられ、 前記支持台(12)の上には、駆動部電極パッド(17)が備えられ、 前記固定メインフレーム(21,24)の末端部には固定部電極パッド(13)が備えられて構成されたことを特徴とするシングルステージマイクロアクチュエータにおいて、 前記固定電極板(14)のそれぞれの側面が前記第1駆動メインフレーム36を介して複数個のくし状の方向変形スプリング部(30′)で支持され、 前記駆動フレーム部を構成するそれぞれの駆動フレームの内周側が複数個のくし状の方向変形スプリング部(30′)で支持され、それぞれの駆動フレームの外周側が複数個のくし状の方向変形スプリング部(30)によって支持されたことを特徴とするシングルステージマイクロアクチュエータ。

IPC (4件)：

G11B 9/14 ( 200 6.01) ,  G01N 13/10 ( 200 6.01) ,  G02B 21/26 ( 200 6.01) ,  G12B 5/00 ( 200 6.01)

FI (4件)：

G11B 9/14 F ,  G01N 13/10 C ,  G02B 21/26 ,  G12B 5/00 T

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平1-107188
  
• ライトバルブ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-273184   出願人：キヤノン株式会社