特許

J-GLOBAL ID：201103028994851239

表面検査装置

発明者： 風間 彰 ,  櫛田 靖夫 ,  陶山 恒夫
出願人/特許権者： JFEスチール株式会社
代理人 (9件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  白根 俊郎 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-348180
公開番号（公開出願番号）：特開2002-156333
特許番号：特許第3675334号
出願日： 2000年11月15日
公開日（公表日）： 2002年05月31日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 被検査体を製造するプロセスで用いられ、前記被検査体の表面に発生する欠陥をセンサを用いて光学的に検査する表面検査装置であって、 前記センサの出力と製造条件に対応するデータとに基づいて、欠陥の有無を検出する検出装置と、 複数の模擬信号が記録されたデジタル方式の記録装置と、 前記記録装置に記録された模擬信号を再生して出力する再生装置と を具備し、 前記再生装置から出力された模擬信号を、前記検出装置における前記センサからのデータ、及び製造条件に対応するデータに代えて入力することにより、製造時と同様な検査状況を含む任意の検査状況を創成する ことを特徴とする表面検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/892 ,  B21C 51/00

FI (2件)：

G01N 21/892 B ,  B21C 51/00 P

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 設備ロギング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-133972   出願人：オムロン株式会社
• 疵検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-347247   出願人：住友金属工業株式会社, オムロン株式会社