特許

J-GLOBAL ID：201103029302133249

気密性を検査するための方法及び装置

発明者： ウェットジグ,ダニエル
出願人/特許権者： インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
代理人 (2件)： 河野 登夫 ,  河野 英仁
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-535380
公開番号（公開出願番号）：特表2011-505553
出願日： 2008年11月27日
公開日（公表日）： 2011年02月24日
要約：

【解決手段】試験ガスが充填された検査対象(13)が、排気可能な検査室(10)に置かれる。キャリアガスが検査室(10)に導入されて、検査室内にキャリアガス及び試験ガスからなるガス混合物が形成される。ガス混合物が、圧縮ポンプ(15)により検査室(10)から取り出される。試験ガスセンサ(17)が、圧縮ポンプ(15)の出口に接続されている。試験ガスが、圧縮比分増大した分圧で圧縮されたガス混合物に含まれている。このようにして、試験ガスの検出感度が向上して、及び/又は測定の時定数が短縮される。

請求項（抜粋）：

試験ガスが充填された検査対象(13)が検査室(10)に収容されて、該検査室から取り出された試験ガスとキャリアガスとからなるガス混合物の流れにある試験ガスセンサ(17)が、凝縮ポンプ(15,30) の下流側に配置され、前記ガス混合物が前記試験ガスセンサ(17)を用いて試験ガスの存在を検査される気密性を検査するための方法において、 前記キャリアガスは、前記検査室(10)の下流側で前記試験ガスの流れに供給されることを特徴とする方法。

IPC (1件)：

G01M 3/20

FI (2件)：

G01M3/20 X ,  G01M3/20 B

Fターム (9件)：

2G067AA21 ,  2G067AA44 ,  2G067BB04 ,  2G067BB12 ,  2G067BB30 ,  2G067CC13 ,  2G067DD17 ,  2G067DD18 ,  2G067EE01

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 対象物の密封性を測定するためのシステム及び方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-407157   出願人：センシスターテクノロジーズエービー