めっき方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：渡邉勇 , 堀田信太郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-403876
公開番号（公開出願番号）：特開2002-173795
特許番号：特許第3874609号
出願日： 2000年12月04日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】めっき槽に保持されためっき液中にカソードに接続された基板とアノードとを配置し、添加剤を含んだめっき液を上記めっき槽に供給しながら基板のめっきを行うめっき方法において、非めっき処理時に、めっき処理時に供給するめっき液よりも少量のめっき液を上記めっき槽に供給することを特徴とするめっき方法。

IPC (3件)：