特許
J-GLOBAL ID：201103030779868419
ウエハの包装保管方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-148748
公開番号（公開出願番号）：特開2000-340643
特許番号：特許第3288337号
出願日： 1999年05月27日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 クリーンルーム内の清浄度をチェックするためのウエハを数時間から数日間クリーンルーム内の雰囲気に晒し、数時間から数日間経過後この雰囲気に晒された清浄度分析用のウエハをクリーンルームから取り出して分析するまでの間保管しておくウエハの包装保管方法において、前記清浄度分析用のウエハは雰囲気に晒される表面が平滑であるウエハを使用し、そのうちの2枚のウエハの雰囲気に晒された表面部同士を重ね合わせて密着させ、前記密着させた2枚のウエハの全外面を遮光性を有する導電性シートで覆い包み、前記導電性シートで覆い包んだ密着させた2枚のウエハをウエハ容器に収納することを特徴とするウエハの包装保管方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 T
, B65D 85/38 R
