特許
J-GLOBAL ID:201103030896015699

真空用フィルタ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 恩田 博宣 ,  恩田 誠
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-314934
公開番号(公開出願番号):特開2001-129335
特許番号:特許第4347965号
出願日: 1999年11月05日
公開日(公表日): 2001年05月15日
請求項(抜粋):
【請求項1】筒状のカバーと、前記カバーの両端開口部に対して着脱可能なエンドキャップとを備えたエレメント収容体の内部にある空間に、気体を濾過するためのフィルタエレメントを収容するとともに、前記空間に連通する第1ポート及び第2ポートを前記収容体にそれぞれ設け、真空発生時に第2ポート側から前記フィルタエレメントを経由して第1ポート側へ気体が流れる第1の経路と、真空破壊時に第1ポート側から前記フィルタエレメントを経由して第2ポート側へ気体が流れる第2の経路とから構成された真空用フィルタにおいて、 前記空間内には、弾性体からなる環状部材であって、内周面に所定方向に傾斜する第1リップ部を有し、かつ外周面に前記第1リップ部と反対方向に傾斜する第2リップ部を有するリップパッキンを構成要素とするチェック弁を設け、該チェック弁は前記第1リップ部及び前記第2リップ部が前記空間内の周面に圧接するように配設されるとともに、真空発生時には前記第1リップ部または第2リップ部のいずれか一方を押圧することにより第1の経路を介して気体が流れ、真空破壊時には前記第1リップ部または第2リップ部のいずれか他方を押圧することにより第2の経路を介して気体が流れることを特徴とする真空用フィルタ。
IPC (2件):
B01D 46/24 ( 200 6.01) ,  B01D 46/42 ( 200 6.01)
FI (2件):
B01D 46/24 Z ,  B01D 46/42 Z
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 真空用フィルタ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平10-079200   出願人:シーケーディ株式会社
  • 特開昭49-121275

前のページに戻る