特許

J-GLOBAL ID：201103030931705237

静電容量検出型センサおよびジャイロスコープならびに入力装置

発明者： 阿部 宗光 ,  篠原 英司 ,  江刺 正喜
出願人/特許権者： アルプス電気株式会社 ,  江刺 正喜
代理人 (2件)： 志賀 正武 ,  棚井 澄雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-010693
公開番号（公開出願番号）：特開2001-201348
特許番号：特許第3771100号
出願日： 2000年01月19日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 枠部と該枠部の内側に設けられた振動片と該振動片及び前記枠部を挟持するように設けられた一対の基材との3層構造とされ、 前記枠部と、前記振動片と、前記振動片と対向して設けられ、前記振動片を駆動する駆動用電極と、該駆動用電極に駆動信号を供給する駆動用線路部と、前記振動片と対向して設けられ、前記振動片の駆動方向と直交する方向の変位を検出する検出用電極と、該検出用電極からの検出信号を伝送する検出用線路部とを備え、前記駆動用電極と前記検出用電極との間、もしくは前記駆動用線路部と前記検出用線路部との間に、これら電極間もしくは線路部間を静電的に遮蔽する第1の遮蔽部材が設けられるとともに、 前記振動片、前記駆動用線路部、前記検出用線路部および前記第1の遮蔽部材がともに前記基材間において同一平面上に形成され、 前記駆動用電極と前記検出用電極とが前記振動片と対向して配置された各基材上に設けられ、該基材上の前記駆動用電極と前記検出用電極との間、もしくは前記駆動用線路部と前記検出用線路部との間に、前記第1の遮蔽部材が設けられ、 前記一方の基材の外側に外部接続用パッド部が設けられ、前記一方の基材と前記他方の基材との間に介在される前記駆動用線路部または前記検出用線路部を介して前記駆動用電極または前記検出用電極が前記外部接続用パッド部に接続されてなり、 前記枠部、前記振動片、前記駆動用線路部の一部、前記検出用線路部および前記第1の遮蔽部材がともに同じ導電性材料からなり、前記振動片の側方側に前記枠部から前記振動片側に一体に延出形成されて前記第1の遮蔽部材が複数設けられてなることを特徴とするジャイロスコープ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 ( 200 6.01) ,  G01P 9/04 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-221734   出願人：株式会社日本自動車部品総合研究所, 株式会社デンソー
• 表面マイクロマシンおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-019053   出願人：アイシン精機株式会社
• 音さ制御ジヤイロの電極パターン
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-019513   出願人：スエデイツシユ・オードナンス-エフエフヴイ/ボツフオース・エービー
• データ入力装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-252974   出願人：株式会社村田製作所