欠陥検査装置、欠陥検査方法および記憶媒体

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-001479
公開番号（公開出願番号）：特開2000-206052
特許番号：特許第4212702号
出願日： 1999年01月06日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】検査対象物表面における色調の濃淡を検査画像データとして取り込むと共に基準原画像データを取り込む取込手段と、前記取込手段により取り込んだ基準原画像データに基づいて基準画像データを設定する基準画像設定手段と、基準画像データ及び検査画像データに対して、iを画素番号、nをフィルタの領域の行数、mを前記領域の列数、Biを画素番号iの濃度差、apkをk行p列目の画素の濃度値、aqkをk行q(q=p-n)列目の画素の濃度値、sをビットシフト量、Xをオフセット値としたときに、濃度変化をにより強調するフィルタ処理を施すフィルタ手段と、 Eを欠陥として検出しようとする欠陥部と正常部との濃度差の下限値の割合としたときに、指定値Cを C=E×m×n/2s により算出し、さらに、Diを画素番号iの閾値、Aiを画素番号iの基準画像データの濃度値、Acを基準画像補正値としたときに、前記フィルタ手段によるフィルタ処理後の基準画像データの濃度分布に基づいて閾値をにより設定する閾値設定手段と、前記閾値設定手段により設定された閾値に基づいて、前記フィルタ手段によるフィルタ処理後の検査画像データを2値化する2値化手段とを具備し、前記2値化手段により2値化されたデータに基いて前記検査対象物表面における欠陥を検出することを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ( 200 6.01) , G01N 21/93 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01N 21/88 J , G01N 21/93

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-070553
斑検出方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-109280 出願人：東芝エンジニアリング株式会社
明欠陥/暗欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-280965 出願人：東芝エンジニアリング株式会社

全件表示

前のページに戻る