特許
J-GLOBAL ID：201103031508990703

感光性樹脂組成物

発明者：
長谷川 真平

長谷川 真平 について


出願人/特許権者：
三洋化成工業株式会社

三洋化成工業株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-071885
公開番号（公開出願番号）：特開2011-203577
出願日： 2010年03月26日
公開日（公表日）： 2011年10月13日
要約：
【課題】 アルカリ現像性、露光感度、および解像度に優れ、その硬化物が、低温処理を採用した場合でも、基板との密着性および弾性回復特性に優れているフォトスペーサ用感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。【解決手段】 種々の酸性基またはこれらの塩を含有する多官能(メタ)アクリレートモノマー(A)、2個以上の加水分解性アルコキシ基を有するシロキサン化合物(B)、および光ラジカル重合開始剤(C)を含有するアルカリ現像可能なネガ型の感光性樹脂組成物で、感光性樹脂組成物の(A)〜(C)の合計重量に基づく酸価が10〜110KOHmg/gで、かつ感光性樹脂組成物の(A)〜(C)の合計重量に基づく(メタ)アクリロイル基中の炭素-炭素二重結合(C=C)の含有量が6.5〜10.0mmol/gであることを特徴とするフォトスペーサ用感光性樹脂組成物(Q)である。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
カルボキシル基、スルホ基、リン酸基、およびリン酸エステル基からなる群から選ばれる1種以上の官能基、またはこれらの塩を含有する多官能(メタ)アクリレートモノマー(A)、2個以上の加水分解性アルコキシ基を有するシロキサン化合物(B)、および光ラジカル重合開始剤(C)を必須成分として含有するアルカリ現像可能なネガ型の感光性樹脂組成物で、感光性樹脂の(A)〜(C)の合計重量に基づく酸価が10〜110KOHmg/gで、かつ感光性樹脂組成物の(A)〜(C)の合計重量に基づく(メタ)アクリロイル基中の炭素-炭素二重結合(C=C)の含有量が6.5〜10.0mmol/gであることを特徴とするフォトスペーサ用感光性樹脂組成物(Q)。
IPC (4件)：
G03F 7/027 ,  G03F 7/075 ,  C08F 290/06 ,  C08F 299/00
FI (5件)：
G03F7/027 515 ,  G03F7/027 501 ,  G03F7/075 511 ,  C08F290/06 ,  C08F299/00
Fターム (78件)：
2H125AC31 ,  2H125AC35 ,  2H125AC36 ,  2H125AC45 ,  2H125AC59 ,  2H125AC72 ,  2H125AD02 ,  2H125AD06 ,  2H125AE12P ,  2H125AE14P ,  2H125AF18P ,  2H125AF46P ,  2H125AN36P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125BA02P ,  2H125CA22 ,  2H125CB05 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  2H125CD06P ,  2H125CD16P ,  2H125CD31 ,  4J127AA03 ,  4J127AA04 ,  4J127BB041 ,  4J127BB042 ,  4J127BB091 ,  4J127BB132 ,  4J127BB221 ,  4J127BB222 ,  4J127BB282 ,  4J127BB302 ,  4J127BC032 ,  4J127BC061 ,  4J127BC132 ,  4J127BC151 ,  4J127BD202 ,  4J127BD321 ,  4J127BD331 ,  4J127BE34Y ,  4J127BE342 ,  4J127BE41Z ,  4J127BE412 ,  4J127BE59Y ,  4J127BE591 ,  4J127BF31Y ,  4J127BF312 ,  4J127BF72Y ,  4J127BF721 ,  4J127BG05Y ,  4J127BG051 ,  4J127BG052 ,  4J127BG12Y ,  4J127BG122 ,  4J127BG16Z ,  4J127BG161 ,  4J127BG17Z ,  4J127BG172 ,  4J127BG38Y ,  4J127BG381 ,  4J127CB283 ,  4J127CB341 ,  4J127CB343 ,  4J127CB372 ,  4J127CB373 ,  4J127CB374 ,  4J127CB391 ,  4J127CB392 ,  4J127CC112 ,  4J127CC113 ,  4J127CC114 ,  4J127CC151 ,  4J127CC152 ,  4J127CC153 ,  4J127CC333 ,  4J127FA00 ,  4J127FA17
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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