特許
J-GLOBAL ID：201103031792918545
超音波検査方法及び超音波検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
青木 宏義
, 天田 昌行
, 岡田 喜雅
, 菅野 亨
, 溝口 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-203349
公開番号（公開出願番号）：特開2011-053126
出願日： 2009年09月03日
公開日（公表日）： 2011年03月17日
要約：
【課題】基台に対する板状部材の接着状態の不良を検査すること。【解決手段】凹部が形成された基台301及びこの基台301の凹部に係合し当該凹部の底面に接着される板状部材を有する保持テーブル3における基台に対する板状部材の接着状態を検査する超音波検査装置1において、基台301の凹部の底面と板状部材302の被接着面との接着部位に超音波を照射し、当該接着部位からの反射エコーを測定し、上記接着部位からの反射エコーを、色情報を有する画像データに変換し、この画像データの色情報に応じて板状部材302の被接着面と基台301の凹部の底面との間の接着状態の不良を判定することを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
凹部が形成された基台及びこの基台の凹部に係合し当該凹部の底面に接着される板状部材を有する保持テーブルにおける前記基台に対する前記板状部材の接着状態を検査する超音波検査方法であって、
前記凹部の底面と前記板状部材の被接着面との接着部位に超音波を照射し、当該接着部位からの反射エコーを測定する超音波測定工程と、前記接着部位からの反射エコーを、色情報を有する画像データに変換する画像処理工程と、前記画像データの色情報に応じて前記被接着面と前記底面との間の接着状態の不良を判定する判定工程とを具備することを特徴とする超音波検査方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (17件)：
2G047AC10
, 2G047AD19
, 2G047BA03
, 2G047BC03
, 2G047BC09
, 2G047DB03
, 2G047DB12
, 2G047EA08
, 2G047GB25
, 2G047GF06
, 2G047GG01
, 2G047GG33
, 2G047GG34
, 2G047GH06
, 2G047GH13
, 2G047GH14
, 2G047GH17
