特許
J-GLOBAL ID：201103031844947719
半導体工場自動化システム及び自動搬送ビークルの制御方法並びに記録媒体
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人共生国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-180363
公開番号（公開出願番号）：特開2001-060539
特許番号：特許第4592878号
出願日： 2000年06月15日
公開日（公表日）： 2001年03月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 自動搬送ビークルを制御するための半導体工場自動化システムにおいて、
共通通信ラインと、
各々前記共通通信ラインにカップリングされ、完全自動モード(full automation mode)を有する動作モードで、半導体ウェーハのロットに適用される所定の半導体工程を遂行し、所定の半導体工程が完了した後、工程完了信号を伝送するための多数の半導体処理手段と、
前記共通通信ラインにカップリングされ、前記各半導体処理手段の動作モード情報及びオペレーター(operator)により変更された動作モード情報を受信するためのオペレーターインターフェース手段と、
前記共通通信ラインにカップリングされ、前記オペレーターインターフェース手段から変更された動作モード情報を貯蔵するためのリアルタイムデータベースを貯蔵する貯蔵手段と、
前記共通通信ラインにカップリングされ、工程完了信号に応答してキュー(queue)を生成するための生成手段と、
前記共通通信ラインにカップリングされ、キューに応答して前記貯蔵手段に貯蔵された各半導体処理手段の動作モード情報を確認するための制御手段と、
前記制御手段から受信されたキューに応答して前記各半導体処理手段から半導体ウェーハのロットを引き出すための搬送手段と、を含んで、
前記制御手段は、前記貯蔵手段に貯蔵された半導体処理手段の動作モード情報が完全自動モードでなければ、前記搬送手段へのキューの伝送を割り込み(interrupt)することで前記搬送手段を非活性化させることを特徴とする半導体工場自動化システム。
IPC (4件)：
H01L 21/02 ( 200 6.01)
, G06Q 50/00 ( 200 6.01)
, H01L 21/677 ( 200 6.01)
, G05D 1/02 ( 200 6.01)
H01L 21/02 Z
, G06F 17/60 108
, H01L 21/68 A
, G05D 1/02 P
