特許

J-GLOBAL ID：201103032356637340

リーク検査装置

発明者： 小川 長桓
出願人/特許権者： 小川技研株式会社 ,  トヨタ自動車株式会社
代理人 (1件)： 瀧野 秀雄 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-047503
公開番号（公開出願番号）：特開2001-235386
特許番号：特許第3349130号
出願日： 2000年02月24日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 マスタチャンバと入出力孔等を密封した検査物を収納したチャンバの空気を排気した後で密封し、該両者間の差圧の変化より前記検査物のリークを検査するリーク検査装置において、前記検査物に含まれるガスが前記チャンバ内に放出されるガスの単位時間当たりの放出流量に対応した値を予め記録する放出流量記録部と、前記両者の差圧測定時に、前記放出流量記録部に記録されている放出流量に対応した気体を前記マスタチャンバに放出する気体放出手段と、前記マスタチャンバと前記チャンバとの差圧を測定する差圧計と、判定圧力を記録した判定圧力記録部と、所定時間を計時する計時部と、前記マスタチャンバおよび前記チャンバ内の空気を排気させた後で密封すると共に前記計時部で計時を開始させ、所定時間計時されたとき前記差圧計の差圧値と前記判定圧力記録部に記録されている判定圧力とを比較し、該比較した結果を出力する制御部と、を備えたことを特徴とするリーク検査装置。

IPC (1件)：

G01M 3/26

FI (1件)：

G01M 3/26 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• リーク量測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-103178   出願人：小川技研株式会社, トヨタ自動車株式会社
• 洩れ検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-341511   出願人：株式会社コスモ計器