透明ガスバリアフィルムの製造装置及びその製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-219910
公開番号（公開出願番号）：特開2000-219958
特許番号：特許第4427695号
出願日： 1999年08月03日
公開日（公表日）： 2000年08月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】蒸着法により少なくとも片面に金属、あるいは無機酸化物層を積層したプラスチックフィルムを連続的に製造する方法であって、モニターを用いて形成した金属あるいは無機酸化物層の膜厚、あるいは膜厚及び組成を測定する位置の間隔が、プラスチックフィルムの幅方向に100mm以上500mm以下であり、かつプラスチックフィルムと蒸着源との間隔を250mm以上とし、蒸発分布特性より計算される膜厚および組成分布関数を測定点に一致するようにして、測定位置間の膜厚組成を推定しながら製造することを特徴とする透明ガスバリアフィルムの製造方法。

IPC (3件)：