特許
J-GLOBAL ID:201103032899875144
共焦点顕微鏡による検査方法およびそのシステム構成
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
松田 省躬
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-164542
公開番号(公開出願番号):特開2000-035400
特許番号:特許第4500378号
出願日: 1999年06月11日
公開日(公表日): 2000年02月02日
請求項(抜粋):
【請求項1】 異なるスペクトル領域のレーザ光が、顕微鏡光路に組み込まれており、
試料は、少なくとも二次元方向に走査線毎にスキャンされ、そしてその試料光は、被照射位置から反射およびまたは放射する光から励起された試料の少なくとも一つの画像として、スペクトルで検出される共焦点レーザ走査顕微鏡法において、
画像の励起中に、レーザ光がスペクトル成分に変えられ、そして走査線に沿って隣接する試料位置が異なるスペクトル成分のレーザ光で照射され、
そして試料がレーザ光で照射された結果、特有のレーザ光のスペクトル成分が各スペクトル位置に割り当てられ、
そのため試料成分の特定位置が走査される時に、レーザ光のスペクトル成分の選択的変更がなされることを特徴とする共焦点レーザ走査顕微鏡法。
IPC (2件):
G01N 21/27 ( 200 6.01)
, G02B 21/00 ( 200 6.01)
FI (2件):
G01N 21/27 E
, G02B 21/00
引用特許:
引用文献:
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