特許
J-GLOBAL ID：201103033358207536
平行平板型マイクロ静電アクチュエータ、マイクロ光路スイッチ、マイクロメカニカルスイッチおよびそれらの駆動方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
上柳 雅誉
, 須澤 修
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-093927
公開番号（公開出願番号）：特開2002-287045
特許番号：特許第3931576号
出願日： 2001年03月28日
公開日（公表日）： 2002年10月03日
請求項（抜粋）：
【請求項1】基板上に配置された固定電極と、
前記固定電極と微小な距離をおいて相対した可動電極と、
前記可動電極を支持し、ねじれ・伸縮の両方に対して弾性変形可能なばね構造と、を有し、
前記固定電極は、それぞれ独立に電位を制御される3個以上の電極からなり、
前記3個以上の電極は、前記可動電極の回転軸と垂直な方向に沿って、前記可動電極に対向するように配置され、
前記固定電極と前記可動電極との間に電圧を印加することで発生する静電気力により前記可動電極の姿勢を変化させる平行平板型マイクロ静電アクチュエータの駆動方法であって、
前記可動電極に対する電位差を、前記3個以上の電極のすべてに与えることによって、前記可動電極全体に前記基板側から静電気力がかかるようにすることで、前記可動電極を前記基板側に平行に移動させた第1の姿勢状態とし、
前記可動電極に対する電位差を、前記3個以上の電極のうち一部の電極であって、前記可動電極の一方の端部側に位置する電極に与えることによって、前記可動電極の前記一方の端部が前記基板側に引っ張られるようにすることで、前記可動電極を前記基板に対して前記一方の端部側に傾斜させた第2の姿勢状態とし、
前記可動電極に対する電位差を、前記3個以上の電極のうち一部の電極であって、前記可動電極の他方の端部側に位置する電極に与えることによって、前記可動電極の前記他方の端部が前記基板側に引っ張られるようにすることで、前記可動電極を前記基板に対して前記他方の端部側に傾斜させた第3の姿勢状態とし、
前記第2から前記第3の姿勢状態への移行の途中、及び前記第3から前記第2の姿勢状態への移行の途中に、前記第1の姿勢状態を経由させる
ことを特徴とする前記平行平板型マイクロ静電アクチュエータの駆動方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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