シリコン片と石英ガラスの分離方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：鷲頭光宏 , 緒方和文 , 黒瀬泰之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-317972
公開番号（公開出願番号）：特開2002-128594
特許番号：特許第4439107号
出願日： 2000年10月18日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】シリコン単結晶の引き上げに使用した石英ガラスルツボの石英ガラス片が表面に付着した多結晶シリコンからなる被処理物を液体に浸漬し、石英ガラス片が接地側電極と接触するように被処理物を液中に設置し、液中の被処理物に高圧側電極を近づけて雷インパルスによる衝撃波を与える衝撃破砕、あるいは被処理物に高圧側電極を接触または近づけて瞬間的な大電流を通じる電気破砕によって石英ガラス片と多結晶シリコン片とを分離することを特徴とするシリコン片と石英ガラスの分離方法。

IPC (2件)：