特許
J-GLOBAL ID：201103033689699641
基板把持装置及び研磨装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
渡邉 勇
, 堀田 信太郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-335866
公開番号（公開出願番号）：特開2002-144223
特許番号：特許第3795317号
出願日： 2000年11月02日
公開日（公表日）： 2002年05月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 トップリングシャフトの下端に傾動可能に取付けられる基板把持装置であって、
基板を表面に把持する把持板と、
前記把持板の裏面側を覆って該把持板との間に気密な背圧空間を形成する被覆板とを備え、
前記被覆板は、該被覆板と前記把持板との間に介装した粘着性を有する弾性材を介して前記把持板に保持されていることを特徴とする基板把持装置。
IPC (2件)：
B24B 37/04 ( 200 6.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
B24B 37/04 H
, H01L 21/304 622 H
