特許

J-GLOBAL ID：201103034173750922

光電式リニヤエンコーダ

発明者： 柴田 博朗
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (3件)： 高矢 諭 ,  松山 圭佑 ,  牧野 剛博
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-108818
公開番号（公開出願番号）：特開2002-310731
特許番号：特許第4672894号
出願日： 2001年04月06日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 変位方向と略垂直方向に延びる多数の主格子が形成され、変位方向に沿って略一直線状に配設される複数のメインスケールと、 該メインスケールに沿って移動するインデックススケールと、 前記メインスケールに形成された主格子とインデックススケールに形成された副格子の相互作用による受光量の変化を読み取って電気信号に変換する検出部とを有する光電式リニヤエンコーダにおいて、 前記メインスケールに形成された主格子に対して、インデックススケールに形成された副格子を少し傾け、傾きによる副格子の変位方向のずれを、該副格子の有効な範囲内に設けることにより、単一の検出部で、メインスケールのつなぎ目における信号強度低下の少ない出力信号を得ることを特徴とする光電式リニヤエンコーダ。

IPC (1件)：

G01D 5/347 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01D 5/347 110 A ,  G01D 5/347 110 E

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平1-282424
  
• 変位検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-340185   出願人：オークマ株式会社