特許
J-GLOBAL ID：201103034295663885

露光装置及び露光方法、デバイス製造方法、並びに搬送方法

発明者：
柴崎 祐一

柴崎 祐一 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-287382
公開番号（公開出願番号）：特開2011-003875
出願日： 2009年12月18日
公開日（公表日）： 2011年01月06日
要約：
【課題】大型化したウエハの搬送を容易にする。【解決手段】 露光装置は、XY平面に沿って移動可能であるとともに、互いに接近及び離間が可能な第1部分と第2部分とを含む粗動ステージWCS1と、ウエハWを保持するとともに、粗動ステージWCS1によって少なくともXY平面内で相対移動可能に支持される微動ステージWFS1と、粗動ステージWCS1に支持されている微動ステージWFS1を単独で若しくは粗動ステージWCS1と一体で駆動する駆動系と、を備える。また、露光装置は、粗動ステージWCS1との間で、微動ステージWFS1の受け渡しが可能なリレーステージDRSTを備えている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
エネルギビームにより物体を露光する露光装置であって、 互いに直交する第1軸と第2軸とを含む二次元平面に沿って移動可能な第1移動体と; 前記物体を保持するとともに、前記第1移動体によって少なくとも前記二次元平面に平行な面内で相対移動可能に支持される保持部材と; その少なくとも一部が、少なくとも前記二次元平面に平行な面内の一方向及び前記二次元平面に直交する第3軸に平行な方向の少なくとも1方向に移動可能で、前記第1移動体との間での前記保持部材の受け渡しに用いられる受け渡し装置と;を備える露光装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/68 ,  G01B 11/00
FI (7件)：
H01L21/30 515G ,  H01L21/30 514D ,  H01L21/30 503C ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 515D ,  H01L21/68 K ,  G01B11/00 G
Fターム (40件)：
2F065AA03 ,  2F065BB02 ,  2F065CC19 ,  2F065FF15 ,  2F065FF48 ,  2F065FF51 ,  2F065GG04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL42 ,  2F065MM02 ,  2F065PP12 ,  2F065UU08 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031GA02 ,  5F031HA53 ,  5F031HA57 ,  5F031HA58 ,  5F031HA59 ,  5F031JA06 ,  5F031JA22 ,  5F031JA38 ,  5F031MA27 ,  5F031PA18 ,  5F046BA03 ,  5F046CB01 ,  5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC08 ,  5F046CC13 ,  5F046CC16 ,  5F046CC18 ,  5F046CC20 ,  5F046CD01 ,  5F046CD03
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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