特許

J-GLOBAL ID：201103034386193610

AlTi系合金スパッタリングターゲット及び耐摩耗性AlTi系合金硬質皮膜並びに同皮膜の形成方法

発明者： 阿部 利彦 ,  橋本 等 ,  朴 容浩 ,  齋藤 吉信 ,  武田 裕正 ,  及川 広勝
出願人/特許権者： 工業技術院長 ,  東北特殊鋼株式会社
代理人 (2件)： 小越 勇 (外1名) ,  小越 勇
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-106118
特許番号：特許第3084402号
出願日： 1999年04月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 AlTi系合金スパッタリングターゲットの組成が、AlxTi1-x-y-zMyRz(但し、MはW又はMoから選択した元素の1種以上、RはY、Ce、La、ミッシュメタル等の希土類元素から選択した元素の1種以上、0.05≦x≦0.7、0.02≦y≦0.25、0.0005≦z≦0.05)であることを特徴とするAlTi系合金スパッタリングターゲット。

IPC (4件)：

C23C 14/34 ,  C22C 14/00 ,  C22C 21/00 ,  C23C 14/06

FI (4件)：

C23C 14/34 A ,  C22C 14/00 Z ,  C22C 21/00 N ,  C23C 14/06 L

引用特許：

審査官引用 (1件)

• Ti-Al合金ターゲット材の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-278297   出願人：株式会社神戸製鋼所