ダイシング装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-131713
公開番号（公開出願番号）：特開2002-329685
特許番号：特許第3885224号
出願日： 2001年04月27日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ワークを加工する回転刃と、該ワークを載置して前記回転刃に対して相対的にX及びY方向に移動するワークテーブルとを有するダイシング装置において、前記回転刃に供給された切削水に対して、前記ワークを切削する加工ポイントにおける前記回転刃の回転方向と同一の方向に向けて洗浄水を供給する洗浄水ノズルが前記ワークテーブル外周近傍に設けられ、前記洗浄水ノズルは、内部に空洞部を有し、この空洞部には供給する洗浄水に超音波振動を伝播する超音波発信源が組み込まれるとともに、前記洗浄水ノズルは、前記洗浄水を供給する多数の小孔の開口面が前記ワークテーブル外周を取り囲む円形の一部を成し、前記ワークの全面に洗浄水を供給するのに十分な奥行きを有した板状に形成されるとともに、前記各小孔が前記X方向に平行に形成され、前記洗浄水ノズルは前記ワークテーブルと一緒に前記回転刃に対してX及びY方向に相対的に移動して、前記ワークの加工が終了するまで常時ワークの上面全面に水の膜又は前記ワークを切削する加工ポイントにおける前記回転刃の回転方向と同一の方向に向けて水の流れを形成することを特徴とするダイシング装置。

IPC (3件)：

H01L 21/301 ( 200 6.01) , B08B 3/02 ( 200 6.01) , B08B 3/12 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01L 21/78 F , B08B 3/02 D , B08B 3/12 Z

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-206725
特開平4-206725
ダイシング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-133145 出願人：ソニー株式会社

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