高周波透過体およびその製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木下茂
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-151482
公開番号（公開出願番号）：特開2000-335974
特許番号：特許第3739028号
出願日： 1999年05月31日
公開日（公表日）： 2000年12月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】窒化アルミニウム結晶相を主体とする窒化アルミニウム焼結体により形成された高周波透過体であって、珪素含有量が100ppm以下、誘電損失(tanδ)が1×10-2以下、熱伝導率が144W/mK以上、平均結晶粒子径が3〜7μm、前記窒化アルミニウム結晶相内に存在する酸素量が10000ppm以下であり、かつ前記窒化アルミニウム結晶相に対して希土類酸化物相を外率で10重量%以下含有していることを特徴とする高周波透過体。

IPC (2件)：